臭氧应用在医疗行业范围广泛，臭氧不仅可以用在医疗治病方面，也可以用在车间的消毒杀菌；臭氧消毒机在空间消毒方面相比传统杀菌方式有很大的优势。
传统的灭菌方法主要有三种：一是紫外线灭菌，二是试剂灭菌，三是加热灭菌。这些方法已被人们习惯使用，其安全性、可靠性已被长期的实践所证实。但是它们也有各自的缺陷。
1 紫外线灭菌
紫外线受照射强度和距离的影响，会产生死角，臭氧为气体，渗透性强，扩散性好，浓度均匀，没有死角；紫外线照射杀菌需要较长的作用时间，一般要照射6小时以上，而符合标准浓度的臭氧只需开机1小时以上
2 化学试剂灭菌
化学试剂对于操作的人员有一定的危险性；灭菌药味大，不能自然排出，需要空调进行排风，增加成本；剩余的药物直接排入大气对环境存在二次污染，对人体有害
3 加热灭菌
包括干热和湿热，其缺点是温度高，能耗大，有的物品如原材料、仪器仪表、塑料制品等就不宜加热我国对环保事件越来越重视，在制药行业GMP条例对药品生产（特别是无菌产品）有着极其严格的要求，通过技术的发展在GMP验证过程中发现臭氧灭菌是最适合的方法，与各种传统灭菌方法相比，臭氧消毒机灭菌有许多特点：
（1）高效性
臭氧消毒是以空气为媒质，不需要其他任何辅助材料和添加剂。消毒进行时臭氧发生器产生一定量臭氧，在相对密封的环境下，扩散均匀，包容性好，克服了紫外线杀菌存在的诸多死角的特点，既可杀灭细菌繁殖体、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原虫胞体等多种病毒，还可以破坏肉毒杆菌和毒素及立克次氏体等，同时还具有很强的除霉、腥、臭等异味的功能。
（2)高洁净性
臭氧快速自然分解为氧的特征，是臭氧作消毒灭菌剂的独特优点。臭氧是利用空气中氧气产生的，消毒氧化过程中，多余氧（O）在30min后又结合成氧分子（O2），不存在任何残留物，解决了消毒剂消毒方法产生的二次污染问题，同时省去了消毒结束后的再次清洁。
（3 )方便性
臭氧灭菌器一般安装在洁净室或空气净化系统中或灭菌室内（如臭氧灭菌柜、传递窗等）。根据调试验证的灭菌浓度及时间，设置灭菌器的按时间开启及运行时间，操作使用方便。
（4 )经济性
通过臭氧消毒灭菌在诸多制药行业及医疗卫生单位的使用及运行比较，臭氧消毒方法与其他方法相比具有很大的经济效益及社会效益。在当今工业快速发展中，环保问题特别重要，而臭氧消毒却避免了其他消毒方法产生的二次污染。
